为了阻止荷兰半导体巨头阿斯麦尔(ASML)向中国公司出售光刻机的一笔1.5亿美元交易,这届美国政府可谓操碎了心。
去年6月,国务卿蓬佩奥就在访问荷兰期间要求盟友站队。知情人士向路透社透露:蓬佩奥当时要求荷兰首相吕特阻止这笔交易,美国官员至少在四次会议中向荷兰官员施压。
7月吕特访问华盛顿时,美国副国家安全顾问库伯曼又给他一份情报报告,大谈“中国获得光刻机的可能后果”。随后,荷兰政府选择不续签ASML的出口许可。
1月6日,路透社在报道中援引三名匿名知情人士称,特朗普政府为“搅黄”ASML公司向中国公司出口极紫外光刻机(EUV)设备,从2018年起就开始对荷兰政府广泛施压。
ASML是世界上最重要的半导体供应商。光刻机则是半导体生产制造环节最重要的核心部件,其关键技术一直被ASML公司垄断。EUV光刻机则是该公司最先进的设备。
2018年,荷兰政府向ASML发放了出口许可证,允许其向一家中国公司出口一台EUV光刻机,价值1.5亿美元。
三名知情人士称,美国立即“盯上了”这笔交易。接下来的几个月里,美方官员至少四次与荷兰官员开会,讨论可否直接封杀这笔交易。
按照美国的出口管理条例,任何外国公司在向中国出口商品时,只要美国制造的零件占到25%价值,就必须向美国寻求出口许可证。
消息人士说,美国商务部对这台出口光刻机进行了审计,却发现美国零件的价值占比不到25%,不符合管理条件。
而且从商业角度考虑,ASML公司希望也推进这笔交易。2018年,来自中国公司订单占据其营收总额近20%,超过美国公司的16%,仅次于韩国公司35%。
一计不成,特朗普政府只好以“国家安全”理由向荷兰施压。光刻机被列入涉及军民两用技术产品出口的《瓦森纳协议》,荷兰也是签署国之一。
为此,2018年12月至2019年1月,美国国防部官员在荷兰驻华盛顿大使馆向对方讨论了这笔交易的“安全风险”。
去年6月,美国国务卿蓬佩奥访问荷兰,一边炒作中国“贸易不公”、5G的“安全问题”,一边要求荷兰等盟友站队。
他在记者会上说:“我们的要求是,我们的盟友、伙伴和朋友不要做任何危及我们共同安全利益,或限制我们分享敏感信息能力的事情。”
虽然没有明确提到光刻机,但知情人士称,蓬佩奥在与荷兰首相吕特会面中要求阻止这笔交易。后者在记者会上回应,虽然荷兰想要与盟国保持政策一致,但“每个国家都必须做出自己的安全决定”。
7月18日,吕特访问华盛顿,期间白宫副国家安全顾问查尔斯·库伯曼向他展示一份情报报告,内容是所谓“中国获得光刻机的可能后果”。
早在6月30日,ASML的许可证就已到期,通常需要8周时间进行审批及续签。但路透社称,吕特访问过后不久,荷兰政府决定不再续签这份许可证。ASML未出现在荷兰外交部数据库的续签名单上。
荷兰首相府发言人拒绝对此置评,称政府不会讨论单独的许可证案例。白宫以及库伯曼也没有回应置评。
11月6日,《日本经济评论》最先报道了相关交易因许可证问题被推迟发货的消息,并认为ASML成为美国政府压力下的“牺牲品”。
公司发言人摩尔斯回应,“延迟发货”仅为媒体猜测,已经申请了新的许可证,仍在等待获批。
“公司遵守的法律。法律说你需要许可证才能出口EUV,我们已经申请了许可证。”
但不论有没有EUV光刻机,ASML预计2020年向中国出售其他产品,销售额会继续增长。路透社评论,此事显示白宫对于阻止中国获得先进芯片制造能力有多么重视,也证明美国政府试图单方面限制对中国出口先进技术时,面临着多么大的挑战。
观察者网专栏作者余鹏鲲曾提到,西方国家限制向中国出口光刻机,是我国境内半导体工艺制程始终比境外落后1-2代甚至3代的主要原因。
去年4月,武汉光电国家研究中心甘棕松团队,采用二束激光在自研的光刻胶上突破了光束衍射极限的限制,采用远场光学的办法,光刻出最小9纳米线宽的线段。该样机实现了材料,软件和零部件等三个方面的国产化,打破了三维微纳光制造的国外技术垄断。
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